แมกนีเซียมฟลูออไรด์ (MgF₂, CAS 7783-40-6) เป็นสารประกอบอนินทรีย์ฟลูออไรด์เกรดออปติคัล มีชื่อเสียงในด้านความโปร่งใสของ VUV/DUV ที่ยอดเยี่ยม และเป็นวัสดุเคลือบออปติคัลที่ทนทานดัชนีหักเหต่ำที่สุดที่มีอยู่ การตกผลึกในโครงสร้างรูไทล์แบบ tetragonal (P4₂/mnm, เชิงบวกในแกนเดียว), MgF₂ แสดงการหักเหของแสงที่เป็นบวก (Δn data 0.012 ที่ 589 นาโนเมตร) ทำให้มีคุณค่าสำหรับโพลาไรเซอร์และแผ่นคลื่น ปรากฏเป็นผลึกโปร่งใสไม่มีสีหรือผงสีขาว มีความหนาแน่น 3.148 g/cm³ จุดหลอมเหลว 1263 °C จุดเดือด 2260 °C และความแข็ง Mohs 6 (แข็งกว่า CaF₂ ซึ่งให้ความต้านทานต่อการขีดข่วนได้ดีกว่า)
คุณสมบัติที่โดดเด่นที่สุดของมันคือช่วงความโปร่งใสที่กว้างเป็นพิเศษ ตั้งแต่ ~110 นาโนเมตร (VUV) จนถึงระดับที่มองเห็นได้ จนถึง ~9.5 μm (IR กลาง) ซึ่งเป็นหนึ่งในช่วงที่กว้างที่สุดในบรรดาของแข็งใดๆ ด้วยดัชนีการหักเหของแสงต่ำสุดในบรรดาของแข็งทนทานใดๆ (n_o = 1.3777, n_e = 1.3897 ที่ 589 nm; ฟิล์มบาง n ~1.38 ที่ 550 nm) และการกระจายตัวต่ำเป็นพิเศษ (Abbe ν_d พรีเมี่ยม 106), MgF₂ จึงเป็นชั้นดัชนีต่ำมาตรฐานอุตสาหกรรมสำหรับการเคลือบ AR แบบชั้นเดียวและหลายชั้น - ชั้นเดียว MgF₂ AR บนกระจกให้การสะท้อนขั้นต่ำ ~1.3 % ในรูปแบบฟิล์มบาง จะจับคู่กับ ZnS, LaF₃, HfO₂, TiO₂ หรือ CeO₂ สำหรับ AR, กระจก HR, ตัวแยกลำแสง และฟิลเตอร์ การรีฟริงก์ของมันทำให้เกิดโพลาไรเซอร์ประเภท VUV/UV Glan และแผ่นคลื่นที่แคลไซต์/ควอตซ์ดูดซับ
MgF₂ เกรดออพติคอลของเรามีจำหน่ายในรูปแบบผลึกเดี่ยว (Bridgman-Stockbarger, Czochralski หรือ HEM Grow), ออปติคอลแบลงค์, หน้าต่างขัดเงา, เลนส์, ปริซึม, โพลาไรเซอร์, แผ่นคลื่น และผง/แกรนูล/เม็ดสำหรับการเคลือบ ในเกรดความบริสุทธิ์ 3N–6N พร้อมการควบคุมโลหะติดตาม ppm ถึง ppb ผลิตผ่านการสังเคราะห์ HF ที่แม่นยำ การระเหิด/การทำให้บริสุทธิ์โซน และการเติบโตของผลึกเดี่ยว MgF₂ ของเราให้ประสิทธิภาพที่สม่ำเสมอ มีความสม่ำเสมอสูง (Δn <1×10⁻⁶) การเกิดไบรีฟริงก์ความเครียดต่ำ และการตรวจสอบย้อนกลับแบบแบตช์เต็มรูปแบบสำหรับการเคลือบด้วยแสง เลนส์เลเซอร์ การสร้างภาพ IR การทำการพิมพ์หินเซมิคอนดักเตอร์ การบินและอวกาศ และการประยุกต์ใช้ในการวิจัย
|
ข้อได้เปรียบ |
คำอธิบาย |
|
ความโปร่งใสกว้างเป็นพิเศษ (VUV ~110 nm ถึง Mid-IR ~9.5 μm) |
หนึ่งในช่วงความโปร่งใสที่กว้างที่สุดของของแข็งที่มีการดูดกลืนภายในต่ำมาก ซึ่งขาดไม่ได้สำหรับเลนส์ VUV/DUV, เลเซอร์เอ็กไซเมอร์, การถ่ายภาพความร้อน IR และระบบบรอดแบนด์ |
|
ดัชนีการหักเหของแสงต่ำสุดของวัสดุที่ทนทาน (n ~1.38) |
ดัชนีต่ำสุดของการเคลือบออพติคัลแข็งที่ทนทาน (~1.38 ที่ 550 นาโนเมตร) — มีเพียงน้ำแข็งและอากาศเท่านั้นที่ต่ำกว่าแต่ใช้งานไม่ได้จริง ชั้นดัชนีต่ำมาตรฐานอุตสาหกรรมสำหรับการเคลือบ AR เดี่ยว/หลายชั้นทั่ว UV-Vis-IR |
|
การกระจายตัวต่ำมาก (Abbe ν_d ~106) |
หนึ่งในตัวเลข Abbe ที่สูงที่สุดของวัสดุออพติคัลใดๆ — การกระจายสีต่ำเป็นพิเศษสำหรับการออกแบบเลนส์อะโพโครมาติก การเคลือบ AR บรอดแบนด์ และระบบไม่มีสีที่ช่วยลดความคลาดเคลื่อนของสี |
|
การสะท้อนแสงที่เป็นบวก (Δn ~0.012) |
โครงสร้างรูไทล์แบบเตตระโกนัลทำให้เกิดการหักเหของแสงในเชิงบวก — มีคุณค่าสำหรับโพลาไรเซอร์ VUV/UV, แผ่นคลื่น และ PBS โดยที่แคลไซต์ (จุดตัด ~250 นาโนเมตร) และควอตซ์ดูดซับใน VUV/DUV |
|
LIDT สูงและมีความทนทานทางกลที่ดี |
LIDT สูงใน UV (>1 J/cm² ที่ 193 nm, 20 ns) และ IR (>15 J/cm² ที่ 10.6 μm, CW) Mohs 6 (แข็งกว่า CaF₂) ทนต่อการขีดข่วนได้ดี และทนทานต่อสภาพแวดล้อม สำหรับงานเลเซอร์กำลังสูงและการใช้งานกลางแจ้ง/อวกาศ |
|
มีความบริสุทธิ์สูงและสิ่งสกปรกควบคุม (3N–6N) |
ความบริสุทธิ์ตั้งแต่ 99.9 % ถึง 99.9999 % ด้วยโลหะปริมาณน้อย (Fe, Ni, Cr, Cu) ที่ระดับ ppm ถึง ppb และควบคุม OH⁻/ออกซิเจน — รับประกันการดูดซึมน้อยที่สุด การกระจัดกระจายต่ำ และ LIDT สูงสุด |
● หน้าต่างและเลนส์โปร่งใส VUV/DUV — การส่งผ่านข้อมูลสูง (>90 % ไม่เคลือบผิว) ลงไปที่ ~110 นาโนเมตรสำหรับ VUV สเปกโทรสโกปี, เลเซอร์เอ็กไซเมอร์ F₂ 157 นาโนเมตร/ArF 193 นาโนเมตร, การพิมพ์หิน DUV, วิทยาศาสตร์บรรยากาศ และกล้องโทรทรรศน์ UV ในอวกาศ — โดยที่ซิลิกาที่หลอมละลายจะทึบแสง
● การเคลือบ AR ดัชนีต่ำมาตรฐานอุตสาหกรรม — n ~1.38 ซึ่งเป็นชั้นดัชนีดัชนีต่ำมาตรฐานอุตสาหกรรมสำหรับ AR เดี่ยว/หลายชั้นบนแก้ว พลาสติก คริสตัล และเลนส์โลหะ MgF₂ AR ชั้นเดียวบนกระจกให้การสะท้อนขั้นต่ำ ~1.3 % ซึ่งต่ำที่สุดในบรรดาการเคลือบชั้นเดียวที่ใช้งานได้จริง
● ออปติก UV-Vis-IR แบบบรอดแบนด์ — ความโปร่งใสดีเยี่ยม ~110 นาโนเมตร ถึง ~9.5 ไมโครเมตร สำหรับหน้าต่างบรอดแบนด์ เลนส์ ปริซึม และตัวแยกลำแสงในระบบหลายสเปกตรัมและเครื่องมือวัด UV/IR แบบรวม
● หน้าต่างและเลนส์ออพติคอล IR — ความโปร่งใสสูงถึง ~9.5 μm สำหรับการถ่ายภาพความร้อน (MWIR 3–5 μm, LWIR 8–12 μm), FTIR, CO₂/Er:YAG เลนส์เลเซอร์ และระบบ IR ระดับกลาง — มีความแข็งเชิงกลที่ดีกว่า (Mohs 6) มากกว่าวัสดุ IR ที่นิ่มกว่าหลายๆ ตัว (ZnSe, KRS-5, NaCl)
● วัสดุเลนส์ไม่มีสีและไม่มีสี — หมายเลข Abbe สูงเป็นพิเศษ (~106) ช่วยให้สามารถแก้ไขสีได้อย่างยอดเยี่ยมในการออกแบบเลนส์ที่ไม่มีสี/ไม่มีสีพิเศษสำหรับการถ่ายภาพ กล้องจุลทรรศน์ กล้องโทรทรรศน์ และเครื่องมือที่มีความแม่นยำเมื่อจับคู่กับแว่นตาที่มีการกระจายแสงสูง
● หน้าต่างเลเซอร์และออปติกกำลังสูง — LIDT สูง การดูดซับต่ำ ความไม่เป็นเชิงเส้นต่ำ และต้านทานการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างฉับพลันสำหรับเอ็กไซเมอร์ (ArF/KrF/F₂), CO₂, ฮาร์โมนิก Nd:YAG และหน้าต่างเลเซอร์ที่เร็วเป็นพิเศษ ตัวเชื่อมต่อเอาท์พุต และเลนส์โฟกัส
● โพลาไรเซอร์แบบรีฟรินเจนต์ VUV/UV และเพลตคลื่น — การรีฟริงเจนต์แบบบวก (Δn ~0.012) และความโปร่งใสของ VUV/UV สำหรับโพลาไรเซอร์ชนิด Glan, เพลตแบบรีฟริงเจนต์แบบควอเตอร์/ครึ่งคลื่น และ PBS ในสเปกโทรสโกปี VUV/UV, การควบคุมโพลาไรเซชันด้วยเลเซอร์ excimer และรีลีสโซเมทรี UV — หนึ่งในวัสดุรีฟรินเจนต์ไม่กี่ชนิดที่มีความโปร่งใสต่ำกว่า 200 นาโนเมตร
● กระจก HR, ฟิลเตอร์ และการเคลือบตัวแยกลำแสง — สลับกับ ZnS, LaF₃, HfO₂, TiO₂ หรือ CeO₂ ทำให้เกิดกระจก DBR (การสะท้อนแสง>99.5 %), ฟิลเตอร์แถบแคบ/ขอบ/รอยบาก, ตัวแยกลำแสงไดโครอิก และ PBS ที่มีการสูญเสียต่ำและ LIDT สูง — มีประโยชน์อย่างยิ่งสำหรับกระจกเลเซอร์ UV
● การเคลือบป้องกันรังสียูวีและการทนต่อการขัดถู — การเคลือบป้องกันรังสียูวีที่โปร่งใสและทนต่อการเสียดสี (Mohs 6 ซึ่งมีความแข็งกว่าการเคลือบโพลีเมอร์) สำหรับเลนส์ UV, หน้าต่างอัลคาไลเฮไลด์ (NaCl, KBr, CsI), เซลล์แสงอาทิตย์ และพื้นผิวแสงที่ละเอียดอ่อน
● แก้วฟลูออไรด์และการใช้งานในอุตสาหกรรม — ส่วนประกอบในแก้วฟลูออไรด์ (ZBLAN) และไฟเบอร์ออปติก IR; เกรดอุตสาหกรรมที่ใช้เป็นฟลักซ์โลหะ (การผลิตเหล็ก การผลิต Mg/Al) วัตถุดิบฟลูออโรเคมี และฟลักซ์/ตัวทำให้ทึบแสงในเซรามิก/แก้ว/เคลือบฟัน
● การเคลือบ AR ชั้นเดียว/หลายชั้นสำหรับเลนส์กล้อง วัตถุประสงค์ของกล้องจุลทรรศน์ กล้องโทรทรรศน์ แว่นตา จอแสดงผล แผงโซลาร์เซลล์ และเลนส์เลเซอร์ — MgF₂ AR ชั้นเดียวบนกระจก ~การสะท้อน 1.3 %, หลายชั้น <0.1 % บนแถบความถี่กว้าง
● การเคลือบ UV/DUV AR สำหรับออปติกเลเซอร์ Excimer KrF 193 nm ArF และ 248 nm, การพิมพ์หิน DUV และสเปกโทรสโกปี UV — ความโปร่งใสของ UV สูงถึง ~110 nm และ LIDT สูงโดยที่ SiO₂ มีการดูดซับสูงกว่า
● กระจก HR และการเคลือบตัวสะท้อนด้วยเลเซอร์ — MgF₂/ZnS และ MgF₂/LaF₃ เรียงซ้อนสำหรับเอ็กไซเมอร์ (ArF 193 nm, KrF 248 nm), UV, CO₂ และ Nd:YAG เลเซอร์ฮาร์มอนิกที่มีการสะท้อนแสง >99.5 %
● VUV สเปกโทรสโกปีและอุปกรณ์ — หน้าต่าง เลนส์ และโพลาไรเซอร์สำหรับ VUV สเปกโทรสโกปี 110–200 นาโนเมตร เลนส์ซินโครตรอนบีมไลน์ วิทยาศาสตร์บรรยากาศ และกล้องโทรทรรศน์ VUV ในอวกาศ — โดยที่ซิลิกาที่หลอมละลาย (จุดตัด ~160 นาโนเมตร) และ CaF₂ (จุดตัด ~125 นาโนเมตร) มีการส่งผ่านที่จำกัด
● Excimer laser optics (ArF, KrF, F₂) — หน้าต่าง เลนส์ ปริซึม และส่วนประกอบที่เคลือบ AR สำหรับตัวสะท้อนเสียงเลเซอร์ 157 nm F₂, 193 nm ArF และ 248 nm KrF การส่งลำแสง และการประมวลผลออปติกที่มี LIDT สูงและอายุการใช้งานยาวนาน
● ระบบนำแสงการพิมพ์หิน DUV — ส่วนประกอบทางแสงและการเคลือบสำหรับการแช่ ArF 193 นาโนเมตร และระบบการพิมพ์หิน 157 นาโนเมตร F₂ รวมถึงระบบการส่องสว่าง/การฉายภาพ การเคลือบเส้นเล็ง/มาส์ก และเพลลิเคิลสำหรับโหนดเซมิคอนดักเตอร์ที่ต่ำกว่า 40 นาโนเมตร
● หน้าต่าง เลนส์ และโดม IR สำหรับการถ่ายภาพความร้อน (MWIR 3–5 μm, LWIR 8–12 μm), ระบบ FLIR, FTIR, เครื่องวิเคราะห์ก๊าซ IR และการส่งเลเซอร์ IR — การส่งผ่าน IR แบบกว้างถึง ~9.5 μm พร้อมความแข็งที่ดีกว่า (Mohs 6) และความทนทานมากกว่า ZnSe, KRS-5, NaCl
● เลนส์เลเซอร์ CO₂ และ IR กำลังแรงสูง — หน้าต่างและเลนส์สำหรับเลเซอร์ CO₂ (10.6 μm, LIDT >15 J/cm² CW), Er:YAG (2.94 μm), He-Ne (3.39 μm) และเลเซอร์ควอนตัมคาสเคดที่มีการส่งผ่าน IR สูงและมีการนำความร้อนได้ดี
● โพลาไรเซอร์ VUV/UV และเพลตคลื่น — โพลาไรเซอร์ Glan-Thompson/Taylor/Foucault และเพลตสี่ส่วน/ครึ่งคลื่นสำหรับสเปกโทรสโกปี VUV/UV, การควบคุมโพลาไรเซชันด้วยเลเซอร์เอ็กไซเมอร์ และวงรี UV — หนึ่งในวัสดุไบรีฟริงเจนต์ไม่กี่ชนิดที่โปร่งใสต่ำกว่า 200 นาโนเมตร (จุดตัดแคลไซต์ ~250 นาโนเมตร)
● ระบบเลนส์ไม่มีสี/ไม่มีสี — วัตถุไม่มีสี/ซุปเปอร์อะโครมาติกสำหรับการถ่ายภาพระดับไฮเอนด์ กล้องจุลทรรศน์ กล้องโทรทรรศน์ เลนส์จำลอง และเครื่องมือที่มีความแม่นยำพร้อมการแก้ไขสีที่ยอดเยี่ยมตั้งแต่รังสี UV ใกล้ถึง IR ใกล้
● เลเซอร์ออพติคทางการแพทย์ — หน้าต่าง เลนส์ และส่วนประกอบเคลือบ AR สำหรับเอ็กไซเมอร์ (เลสิค 193 นาโนเมตร), CO₂ (การผ่าตัด 10.6 ไมโครเมตร), Er:YAG (โรคผิวหนัง/ทันตกรรม 2.94 ไมโครเมตร) และเลเซอร์โฮลเมียม (ระบบทางเดินปัสสาวะ 2.1 ไมโครเมตร)
● เลนส์ด้านกลาโหมและการทหาร — มาตรการตอบโต้ IR การกำหนดเป้าหมาย การเล็งอาวุธความร้อน หน้าต่าง/โดมสำหรับค้นหาขีปนาวุธ เครื่องค้นหาระยะ/ตัวกำหนดระยะด้วยเลเซอร์สำหรับทหาร และเครื่องสร้างภาพความร้อนที่สวมใส่โดยทหารพร้อมประสิทธิภาพหลายสเปกตรัมที่ทนทาน
● เลนส์ทางดาราศาสตร์และอวกาศ — หน้าต่าง เลนส์ และสารเคลือบสำหรับกล้องโทรทรรศน์ UV/IR ในอวกาศ หอดูดาวสุริยะ วิทยาศาสตร์เกี่ยวกับดาวเคราะห์ และการสำรวจระยะไกลด้วยดาวเทียมพร้อมการส่งผ่าน VUV ไปเป็น IR ในวงกว้าง ต้านทานรังสีสูง และปล่อยก๊าซออกต่ำ
● โลหะวิทยาและเคมีอุตสาหกรรม — MgF₂ เกรดอุตสาหกรรมเป็นฟลักซ์ในการผลิตเหล็ก (EAF, โลหะทัพพี), การผลิต Mg/Al, วัตถุดิบฟลูออโรเคมี, ฟลักซ์/ตัวทำให้ทึบแสงในเซรามิก/แก้ว/เคลือบฟัน และส่วนประกอบฟลักซ์การเชื่อม
|
คุณสมบัติ |
ความคุ้มค่า |
คุณสมบัติ |
ความคุ้มค่า |
|
สูตรเคมี |
MgF₂ |
หมายเลข CAS |
7783-40-6 |
|
น้ำหนักโมเลกุล |
62.30 ก./โมล |
ลักษณะที่ปรากฏ |
คริสตัลไม่มีสี / ผงสีขาว |
|
โครงสร้างคริสตัล |
รูไทล์ทรงสี่เหลี่ยม (P4₂/mnm) |
ระบบคริสตัล |
ขั้วบวกแบบแกนเดียว |
|
ความหนาแน่น |
3.148 ก./ซม.3 |
จุดหลอมเหลว |
1263 องศาเซลเซียส |
|
จุดเดือด |
2260 องศาเซลเซียส |
ความแข็งของโมห์ |
6 |
|
ดัชนีการหักเหของแสง n_o (589 นาโนเมตร) |
1.3777 |
ดัชนีการหักเหของแสง n_e (589 นาโนเมตร) |
1.3897 |
|
การรีฟริงเจนซ์ Δn |
~0.012 (บวก) |
ฟิล์มบาง n (550 นาโนเมตร) |
~1.38 |
|
หมายเลขแอบบี ν_d |
≈ 106 |
ช่วงความโปร่งใส |
~110 นาโนเมตร – ~9.5 ไมโครเมตร |
|
วงออปติคอล Bandgap |
~10.8 อีโวลท์ |
ความสามารถในการละลายน้ำ |
~0.0076 ก./100 มล |
|
CTE (⊥ แกน c) |
~13.7 ×10⁻⁶/°ซ |
CTE (∥ แกน c) |
~8.5 ×10⁻⁶/°ซ |
|
การนำความร้อน |
~10–15 วัตต์/เมตร·เค |
โมดูลัสของยัง |
~138 เกรดเฉลี่ย |
|
ความเหนียวแตกหัก K_IC |
~1.0–1.5 MPa·m^½ |
ความแตกแยก |
ดี {110} ปริซึม |
|
เกรด |
ความบริสุทธิ์ |
ร่องรอยโลหะทั้งหมด |
การใช้งานทั่วไป |
|
อุตสาหกรรม |
≥95–99 % |
ไม่ระบุ |
ฟลักซ์โลหะ, ฟลักซ์เซรามิก/แก้ว, การเชื่อม, วัตถุดิบเคมี |
|
ออปติคอลมาตรฐาน (3N) |
≥99.9 % |
<1,000 ppm |
เลนส์ IR ทั่วไป, หน้าต่างที่มองเห็นได้, สารเคลือบที่ไม่สำคัญ, AR ชั้นเดียว, ชุดกระจกฟลูออไรด์ |
|
ออปติคอลที่มีความบริสุทธิ์สูง (4N) |
≥99.99 % |
<100 แผ่นต่อนาที |
หน้าต่าง UV/Vis/IR, เลนส์, ปริซึม, เลนส์เลเซอร์, การเคลือบ AR/HR/หลายชั้น, VUV ไม่สำคัญ |
|
มีความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษ (5N) |
≥99.999 % |
<10 ppm |
เลนส์ VUV/DUV, หน้าต่างเลเซอร์เอ็กไซเมอร์, เลนส์เลเซอร์กำลังสูง, พรีฟอร์ม ZBLAN, คริสตัลที่มีความเป็นเนื้อเดียวกันสูง, การเคลือบ LIDT สูง |
|
มีความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษ (6N) |
≥99.9999 % |
<1 ppm |
การพิมพ์หิน VUV (157 นาโนเมตร F₂), เส้นใยฟลูออไรด์ที่มีการสูญเสียต่ำเป็นพิเศษ, เลนส์เลเซอร์ LIDT สูง, โพลาไรเซอร์ VUV |
|
แบบฟอร์ม |
ขนาด/ข้อมูลจำเพาะ |
การใช้งานทั่วไป |
|
ลูกเปตองคริสตัลเดี่ยว |
Ø25–200 มม. ยาว 50–300 มม. (Bridgman/Czochralski/HEM) |
การผลิตออปติคอลเปล่า, เลนส์/หน้าต่างแบบกำหนดเอง, โพลาไรเซอร์/เวฟเพลท |
|
ออปติคัลว่างเปล่า |
Ø5–200 มม. ความหนา 1–50 มม. อบอ่อน วางแนว |
หน้าต่าง/เลนส์/ปริซึมขัดเงา |
|
หน้าต่างขัดเงา |
Ø5–150 มม., ความหนา 1–25 มม., พื้นผิว 10-5 ถึง 60-40, ความเรียบ แลมบ์ดา/10 ถึง แลมบ์ดา/2 |
หน้าต่าง UV/IR/VUV, เซลล์สเปกโทรสโกปี, หน้าต่างเลเซอร์ |
|
หน้าต่างลิ่ม |
Ø5–100 มม. ลิ่ม 0.5°–5° ขัดเงาทั้งสองด้าน |
หน้าต่างเลเซอร์ อินเตอร์เฟอโรเมท การประยุกต์ใช้งานเอตาลอน |
|
เลนส์ (PCX/BCX/PCV/วงเดือน) |
Ø5–100 มม., EFL 10–500 มม., พื้นผิว 20-10 ถึง 60-40 |
การโฟกัสด้วย UV/IR, การคอลลิเมตติ้ง, การสร้างภาพ, ออพติกเลเซอร์เอ็กไซเมอร์ |
|
ปริซึม / โพลาไรเซอร์ / แผ่นคลื่น |
ปริซึม 5–50 มม. การสูญพันธุ์ของโพลาไรเซอร์ >10⁴:1; การหน่วงเวลา แล/4 หรือ แล/2 |
สเปกโทรสโกปี การควบคุมโพลาไรซ์ VUV/UV ทรงรี |
|
ผง/เม็ด/เม็ด |
ผง D50 1–200 ไมโครเมตร; เม็ด 1–5 มม. เม็ด Ø1–6 มม |
การระเหยด้วยความร้อน/อีบีม เป้าหมายสปัตเตอร์ ชุดแก้ว การเคลือบ AR |
|
เป้าหมายสปัตเตอร์ |
Ø25–200 มม. แบบกำหนดเอง ความหนา 3–10 มม. เชื่อมติดกัน ความหนาแน่น >95 % |
RF แมกนีตรอนสปัตเตอร์, ลำแสงไอออนสปัตเตอร์, การเคลือบพื้นที่ขนาดใหญ่ |
|
องค์ประกอบ |
สูงสุด (ppm) |
องค์ประกอบ |
สูงสุด (ppm) |
องค์ประกอบ |
สูงสุด (ppm) |
|
เฟ |
<10 |
นิ |
<5 |
ลูกบาศ์ก |
<5 |
|
Cr |
<5 |
ศรี |
<20 |
นา |
<10 |
|
เค |
<5 |
แคลิฟอร์เนีย |
<20 |
ซีเนียร์ |
<10 |
|
บ |
<10 |
อัล |
<10 |
ติ |
<5 |
|
สังกะสี |
<5 |
มน |
<3 |
ป.ล |
<3 |
|
บี |
<10 |
ป |
<5 |
ส |
<10 |
|
Cl |
<50 |
โอ |
<100 |
|
|
● องค์ประกอบทางเคมี — ปริมาณสารสัมพันธ์ MgF₂: Mg 39.02 wt%, F 60.98 wt% เกรดที่มีความบริสุทธิ์สูงมีโลหะปริมาณน้อยและมี O/Cl/OH⁻ ที่ควบคุมได้ ความชื้นที่ถูกกำจัดออกโดยการเผา/การระเหิดและการเจริญเติบโตของผลึก
● โครงสร้างผลึก — รูไทล์แบบ tetragonal (P4₂/mnm, หมายเลข 136), isomorphous กับ TiO₂; Mg²⁺ ที่ตำแหน่ง tetragonal ที่มีศูนย์กลางของร่างกาย F⁻ ในการประสานกันของแปดด้านที่บิดเบี้ยว ค่าคงที่ของแลตทิซ a = 4.623 Å, c = 3.052 Å การรีฟริงก์ทางแกนเดียวที่เป็นบวก (Δn µ 0.012), การขยายตัวทางความร้อนแบบแอนไอโซทรอปิก (α_⊥ > α_∥), ความแตกแยกที่ดี {110} ไม่มีการเปลี่ยนเฟสต่ำกว่าจุดหลอมเหลว (1263 °C)
● คุณสมบัติทางแสง — คริสตัล: n_o = 1.3777, n_e = 1.3897 ที่ 589.3 นาโนเมตร; แอบบี ν_d data 106; ความโปร่งใส ~ 110 นาโนเมตร–9.5 ไมโครเมตร; การส่งผ่านภายใน >99 %/cm จาก 150 nm–7 μm (ความบริสุทธิ์สูง); ค่าสัมประสิทธิ์การดูดซับ <0.001 cm⁻¹ ที่ 193 nm (5N+), <0.0005 cm⁻¹ ที่ 10.6 μm; แบนด์แกป ~10.8 eV; การรีฟริงเจนต์ของความเครียด <1 นาโนเมตร/ซม. (อบอ่อนอย่างดี); ความสม่ำเสมอ Δn <1×10⁻⁶ ฟิล์มบาง: n data 1.37–1.40 ที่ 550 nm, k <10⁻⁴, ความหนาแน่น 2.6–3.0 g/cm³ (83–95 % จำนวนมาก; IAD >95 %)
● ความร้อนและเครื่องกล — การหลอมละลาย 1263 °C จุดเดือด 2260 °C ความหนาแน่น 3.148 g/cm³, Mohs 6, Vickers ~5.8 GPa, Young's ~138 GPa, K_IC ~1.0–1.5 MPa·m^½ (ดีกว่า CaF₂), CTE α_⊥ data 13.7, α_∥ data 8.5 ×10⁻⁶/°C (แอนไอโซโทรปิก), ค่าการนำความร้อน ~10–15 W/m·K (สูงกว่า CaF₂), ความต้านทานการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างฉับพลัน R ~80 °C (ปานกลางถึงดี) ความแตกแยกที่ดี {110} — ต้องมีการจัดการอย่างระมัดระวังและต้องมีการป้องกันขอบ
● ความคงตัวทางเคมี — ละลายได้ในน้ำเล็กน้อยมาก (~0.0076 ก./100 มล. น้อยกว่า CaF₂) ละลายได้ในกรดแร่เข้มข้น (ปล่อย HF) และเกลือแอมโมเนียม ไม่ละลายในตัวทำละลายอินทรีย์ส่วนใหญ่ มีความเสถียรต่อด่างที่อุณหภูมิห้อง ค่อย ๆ ทำปฏิกิริยากับความชื้น >800 °C ทำให้เกิด MgO และ HF ผลึกหนาแน่นทนทานต่อสารเคมีและกันความชื้น (ดีกว่า CaF₂, BaF₂, อัลคาไลเฮไลด์) โดยทั่วไปเฉื่อยทางชีวภาพและไม่เป็นพิษ; ฝุ่นละเอียดอาจทำให้เกิดอาการระคายเคืองต่อทางเดินหายใจ
● การเติบโตของคริสตัลและวัตถุดิบ — เติบโตโดย Bridgman-Stockbarger การแช่แข็งแบบไล่ระดับแนวตั้ง (โดยทั่วไป ขนาดใหญ่ Ø50–200 มม.) การดึง Czochralski (คุณภาพสูงที่มีขนาดเล็กกว่า) หรือวิธีแลกเปลี่ยนความร้อน (HEM พื้นที่ขนาดใหญ่) อัตราการเติบโต 0.5–5 มม./ชม. อบอ่อนหลังการเจริญเติบโต 500–900 °C เป็นเวลา 24–100 ชม. วัตถุดิบจาก MgCO₃ หรือ MgO ที่มีความบริสุทธิ์สูงทำปฏิกิริยากับ HF หรือ NH₄HF₂ เกรดอิเล็กทรอนิกส์ ฟลูออไรด์โดยตรงทางเลือกของโลหะ Mg/ออกไซด์; การระเหิด/การกลั่นโซนสำหรับเกรด 5N/6N แหล่ง Mg ต้องควบคุม Ca, Sr, Ba และโลหะทรานซิชัน แหล่งกำเนิด HF ควบคุม As, S และโลหะหนัก
|
ประเภทบรรจุภัณฑ์ |
ข้อมูลจำเพาะ |
การใช้งานทั่วไป |
|
ถุงอัลฟอยล์ปิดผนึกสุญญากาศ |
100 ก., 500 ก., 1 กก., 5 กก |
ผงเกรดแสง เม็ด เม็ด |
|
ขวด HDPE/PP พร้อมซับ PE |
100 ก., 500 ก., 1 กก., 5 กก |
ผงและเม็ด จ่ายง่าย |
|
ถัง HDPE/PP พร้อมซับ PE |
10 กก. 25 กก |
สินค้าอุตสาหกรรม เกรดมาตรฐาน |
|
ถังเหล็กพร้อมซับ PE |
25 กก. 50 กก. 1,000 กก |
กลุ่มอุตสาหกรรมหนัก (โลหะ) |
|
บรรจุภัณฑ์ส่วนประกอบทางแสง |
กล่องกันกระแทกส่วนบุคคล กระดาษทิชชู่สำหรับเลนส์ สารดูดความชื้น ห้องคลีนรูม VUV/IR ในภาชนะปิดผนึกด้วย N₂ |
ส่วนประกอบทางแสงที่ขัดเงา |
|
ป้องกันความชื้น / ก๊าซเฉื่อย |
100 ก. – 5 กก. กำจัดอาร์กอน/ไนโตรเจน |
เกรดออปติคอลที่มีความบริสุทธิ์สูง (5N, 6N) |
|
บรรจุภัณฑ์แบบกำหนดเอง |
ฉลากส่วนตัว ปลอดภัยจาก ESD และตรวจสอบย้อนกลับได้ |
ข้อกำหนดเฉพาะของลูกค้า |
● การติดฉลาก — ชื่อผลิตภัณฑ์, CAS, สูตร, เกรดความบริสุทธิ์, การวางแนวคริสตัล, ขนาด, ขนาด/รูปแบบของอนุภาค, ข้อมูลจำเพาะของสิ่งเจือปน, ปริมาณ OH⁻ (เกรด IR), หมายเลขชุดงาน, วันที่ผลิต, น้ำหนักสุทธิ และข้อมูลด้านความปลอดภัย
● เอกสารประกอบ — SDS และ COA พร้อมด้วยการวิเคราะห์โลหะติดตาม ICP-OES/ICP-MS, PSD, ความหนาแน่นรวม, ความชื้น, LOI, XRD; เกรดคริสตัลออพติคอลประกอบด้วยการส่งผ่าน UV-Vis-NIR/VUV, FTIR (OH⁻), ทรงรี, เลเซอร์อินเตอร์เฟอโรเมทรี (ความเป็นเนื้อเดียวกัน, หน้าคลื่น), การเกิดปฏิกิริยาไบรีฟริงเจนซ์; เกรดการเคลือบรวมถึงการตรวจสอบการทดลองการสะสมของฟิล์มบาง
● การจัดเก็บและขนส่ง — ภาชนะปิดผนึกและกันความชื้นที่อุณหภูมิ 15–25 °C, <60 % RH ห่างจากกรด/ด่างแก่ เกรดออปติคอล (4N+) ในบรรจุภัณฑ์ที่กำจัดอาร์กอน เลนส์ขัดเงาในกล่องกันกระแทกที่สะอาดพร้อมเนื้อเยื่อเลนส์และสารดูดความชื้น เลนส์ VUV/IR ในภาชนะปิดผนึกด้วยไนโตรเจน อายุการเก็บรักษา: 24–36 เดือน (มาตรฐาน), 12–24 เดือน (ออพติคอลที่มีความบริสุทธิ์สูง); เลนส์ขัดเงาไม่มีกำหนดหากจัดเก็บอย่างเหมาะสม หลีกเลี่ยงการขนส่งด้วยกรดแก่ (ปล่อย HF)
● หน้าต่างที่มองเห็น/ใกล้เคียง IR และเลนส์ที่ไม่สำคัญ: หน้าต่าง/เลนส์ขัดเงา 3N หรือผง/เม็ด 3N (โลหะติดตาม <1,000 ppm)
● UV/DUV และเลนส์เลเซอร์กำลังสูง: ผลึกเดี่ยวหรือเม็ด/แกรนูลขนาด 4N หรือ 5N (โลหะติดตาม <100 หรือ <10 ppm) เพื่อการดูดซับน้อยที่สุดและ LIDT สูงที่ 193/248/10.6 μm
● การพิมพ์หิน VUV (157 nm F₂, 193 nm ArF), VUV สเปกโทรสโกปี, เส้นใยที่มีการสูญเสียต่ำเป็นพิเศษ: ผลึกเดี่ยวที่มีความเป็นเนื้อเดียวกันสูง 6N (Bridgman/HEM โต, อบอ่อนอย่างดี) หรือชิ้น/เม็ดเกรดการระเหิด (โลหะปริมาณน้อย <1 ppm)
● หน้าต่าง IR/การถ่ายภาพความร้อน (3–12 μm): ผลึกเดี่ยว 3N หรือ 4N พร้อมการควบคุม OH⁻ (<50 ppm); หน้าต่างเลเซอร์ CO₂ กำลังแรงสูง (10.6 μm): 4N/5N ที่มีการดูดซับต่ำ (<0.0005 cm⁻¹)
● โพลาไรเซอร์ VUV/UV และเพลตคลื่น: ผลึกเดี่ยว 4N/5N ที่มีการวางแนวแกน c ที่แม่นยำ (ตรวจสอบด้วยเอ็กซ์เรย์แล้ว) อัตราส่วนการสูญพันธุ์สูง (>10⁴:1) การรีฟริงก์ของความเค้นต่ำ
● การสะสมของชั้นเคลือบ: เม็ด (Ø1–6 มม.) เหมาะสำหรับ e-beam/การระเหยด้วยความร้อนเพื่อลดการคายน้ำ การสปัตเตอร์: เป้าหมาย 4N/5N แบบกำหนดเอง (Ø25–200 มม. ความหนาแน่น >95 %)
● ละลายหรือปรับสภาพวัตถุดิบก่อนการสะสมเสมอ ยืนยันการวางแนวของคริสตัล (แกน c ตั้งฉากสำหรับหน้าต่าง/เลนส์) คุณภาพการอบอ่อน และความสม่ำเสมอของออปติกคริสตัลเดี่ยว
● การเก็บรักษา: เลนส์ขัดเงาในกล่องปิดผนึก สะอาด ปราศจากฝุ่น มีกระดาษทิชชู่เลนส์และสารดูดความชื้นที่อุณหภูมิ 15–25 °C, <60 % RH; VUV/ออปติก IR กำลังสูงในภาชนะที่กำจัด N₂ หรือปิดผนึกสุญญากาศ เพื่อป้องกันการปนเปื้อนบนพื้นผิวและการดูดซับความชื้น วัสดุเคลือบที่มีความบริสุทธิ์สูง (4N+) ในบรรจุภัณฑ์ที่ปิดผนึก ป้องกันความชื้น และกำจัดอาร์กอน 5N/6N ในกล่องแห้ง/เครื่องดูดความชื้น อายุการเก็บรักษา 12–24 เดือน (มีความบริสุทธิ์สูง); เลนส์ขัดเงาไม่มีกำหนดหากจัดเก็บอย่างเหมาะสม
● การจัดการ: สวมถุงมือไนไตรล์/PTFE ไร้แป้ง ใช้เครื่องมือสแตนเลส, PTFE หรือ HDPE ที่สะอาด (หลีกเลี่ยง Al, Cu, เหล็กเหนียว) MgF₂ มีความแตกแยกที่ดี {110} และ Mohs 6 — จับที่ขอบ หลีกเลี่ยงการกระแทกและแรงกดที่ขอบมากเกินไป ใช้ขอบที่เอียง/ลบมุม อย่าใช้การทำความสะอาดอัลตราโซนิกกับเลนส์ขนาดใหญ่หรือไวต่อขอบ (เสี่ยงต่อการบิ่น/แตกร้าว)
● การทำความสะอาด: IPA อะซิโตน เมทานอล หรือเอทานอลมีความปลอดภัย (ไม่ละลายในตัวทำละลายอินทรีย์) แนะนำให้ใช้การลากทำความสะอาดด้วยทิชชู่เลนส์ อัลตราโซนิกพลังงานต่ำสั้นๆ สำหรับออปติกขนาดเล็กที่แข็งแกร่งเท่านั้น (ตรวจสอบก่อน) หลีกเลี่ยงการสัมผัสน้ำเป็นเวลานาน กรดแก่ (ปล่อย HF) และด่างแก่ สำหรับเลนส์ VUV/LIDT สูง ให้ใช้ตัวทำละลายเกรด CMOS ขั้นตอนห้องสะอาดที่เข้มงวด และการทำความสะอาดโอโซนพลาสมา/UV ในขั้นสุดท้าย เป่าให้แห้งด้วยไนโตรเจนแห้งที่สะอาด ตรวจสอบภายใต้แสงสว่าง
● การเตรียมแหล่งเคลือบ: ปรับสภาพเม็ด/แกรนูลภายใต้สุญญากาศ (10⁻⁵–10⁻⁶ Torr) ที่อุณหภูมิ 300–500 °C เป็นเวลา 30–60 นาที; ใช้ถ้วยใส่ตัวอย่าง W, Ta, Mo หรือคาร์บอนแก้วที่สะอาด (หลีกเลี่ยงอลูมินาที่อุณหภูมิสูง) e-beam: ทำความสะอาดซับเตาทองแดง ละลายก่อนเปิดชัตเตอร์ การสปัตเตอร์: ทำความสะอาดเป้าหมายด้วย IPA, การสปัตเตอร์ล่วงหน้า 5–10 นาที
● ความปลอดภัย: โดยทั่วไปไม่เป็นพิษและเฉื่อยทางชีวภาพ แต่ฝุ่นละเอียดอาจระคายเคืองต่อทางเดินหายใจ/ดวงตา/ผิวหนัง — จัดการผงในตู้ดูดควันด้วยหน้ากาก N95/P100 หลีกเลี่ยงการสัมผัสกับกรดแก่ (ปล่อย HF - มีเจลแคลเซียมกลูโคเนต) ปรึกษา SDS ก่อนการจัดการ

บริษัท หูหนาน อะซีล วัสดุ จํากัด
+0731 8446 4733
+0731 8551 8167
ห้อง 914-915 อาคาร 3 เหอเนิง•เฟิงตันลี่เช่ เลขที่ 107 ถนนเหลาซิถัง เขตหยู่ฮวา ชางซา มณฑลหูหนาน ประเทศจีน
ลิขสิทธิ์ © บริษัท หูหนาน อะซีล วัสดุ จํากัดสงวนลิขสิทธิ์ทั้งหมด|แผนผังเว็บไซต์ |แผนผังเว็บไซต์